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拋光液供給性能核準裝置和化學機械拋光系統

1019   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:49:08
本發明公開了一種拋光液供給性能核準裝置和化學機械拋光系統，所述拋光液供給性能核準裝置包括固定座、水平板和定位件，所述固定座可拆卸地設置于拋光盤的外周壁，所述水平板連接于所述固定座的頂部并朝向拋光盤的中心設置，所述定位件設置于固定座的側部并位于水平板的下部；所述定位件的內側壁為圓弧結構，所述圓弧結構的尺寸與拋光墊的外徑相匹配；所述水平板設置于拋光墊與拋光液供給臂之間，拋光液經由所述拋光液供給臂的端部滴落至所述水平板的頂面，水平板的頂面設置有刻度線以量測拋光液的滴落位置。
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聲明：
“拋光液供給性能核準裝置和化學機械拋光系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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