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化學機械研磨設備防碰撞偵測系統

784   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 06:47:29
本發明屬于化學機械研磨設備技術領域,具體的說是化學機械研磨設備防碰撞偵測系統,包括支撐單元和打磨單元;支撐單元包括轉軸、轉盤和研磨墊;支撐單元的一側打磨單元;打磨單元包括轉動桿、橫桿、電機和研磨頭;電機與研磨頭之間設有圓柱形狀的基板;基板的下端面與研磨頭的上端面之間留有間隙,基板的外圈上設有距離傳感器;在研磨頭一旁安置距離傳感器,實時檢測研磨墊用調節器與研磨頭之間的距離,一旦距離傳感器檢測距離小于用戶設置的安全距離時,危險距離信息傳到操控電腦上,操控電腦將信號反饋給研磨墊用調節器的驅動器,電機停止工作,報警并對檢修和清理研磨墊上的金屬碎屑。
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