本發明涉及脈沖激光沉積鍍膜領域,公開了一種在線測量PLD薄膜化學計量比及各成分質量的方法。首先,在脈沖沉積鍍膜過程中,用激光誘導擊穿光譜(LIBS)測量沉積的薄膜中各個成分化學計量比;然后,用石英晶體微天平(QCM)測量薄膜總沉積量;最后,將LIBS的結果和QCM的結果相結合,得到薄膜中各成分的質量。本發明基于PLD技術、LIBS技術、QCM測膜厚技術,將LIBS和QCM相結合,彌補了LIBS定量分析比較困難,QCM不能進行物質分辨的不足。本發明能夠在脈沖激光沉積鍍膜過程中,實時原位在線測量薄膜化學計量比,不會對鍍膜過程有干擾,并且方法簡單,易于實現。
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