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基于光刻掩膜與微液池的電化學高通量測試方法與裝置

781   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:46:30
本發明基于光刻掩膜與微液池的電化學高通量測試方法與裝置涉及金屬腐蝕、微區電化學及系統性數據積累應用技術領域。構成包括微液池測試系統、測試液更新系統、高精度XYZ三維移動平臺、顯微監控系統、電化學測試系統、存儲及控制系統及在各系統間控制指令與測試數據有效傳輸的連接系統。本發明采用模塊化設計，可拓展性高，將光刻掩膜技術和微液池測試系統結合，并結合高通量思想，精準控制工作電極反應面積，具有高溶液量/工作電極反應面積比，減小反應產物的影響，消除縫隙腐蝕，降低漏液、堵塞、氧擴散風險的發生，具有更低的溶液電阻，可根據需要選擇掩膜圖形和微細管尺寸，實現了微區電化學的高通量、自動化測量，提高測量和分析效率。
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