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檢測窗口、化學機械拋光墊及拋光系統

1032   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:44:47
本發明公開了涉及化學機械拋光技術領域的檢測窗口、化學機械拋光墊及拋光系統。本發明檢測窗口設置在拋光層中，包括透光部和加強部，透光部下表面設置凹陷區域，加強部位于凹陷區域內，加強部與透光部一體成型或粘合為一體；所述加強部設置鏤空部分，0＜鏤空部分橫截面積≤凹陷區域橫截面積的80％；進一步地，所述加強部中部鏤空和/或邊緣鏤空，優選為加強部中部鏤空、互不連通的加強部中部鏤空和邊緣鏤空。本發明提供的檢測窗口，窗口強度提高，壓縮比減小，能有效降低晶圓劃傷，并且提高拋光墊使用壽命。
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聲明：
“檢測窗口、化學機械拋光墊及拋光系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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