合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> 化學機械拋光中光譜終點的檢測方法、裝置及系統

化學機械拋光中光譜終點的檢測方法、裝置及系統

716   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:38:40
本發明提供了一種化學機械拋光中光譜終點的檢測方法、裝置及系統，包括：根據晶圓表面被拋薄膜的光譜檢測數據，確定被拋薄膜的平滑的光譜檢測數據；根據平滑的光譜檢測數據中關聯的反射率數據與檢測波長數據，確定平滑的光譜檢測數據中的極值點及每個極值點對應的波長值；根據至少兩個相鄰極值點的波長值以及被拋薄膜的光學折射率，確定被拋薄膜的剩余厚度；在檢測到被拋薄膜的厚度達到設定厚度閾值時，確定該被拋薄膜的厚度為拋光終點，以使化學機械拋光設備在拋光終點停止拋光；其通過計算晶圓表面被拋薄膜的剩余厚度，確定該被拋薄膜的厚度為拋光終點，提高了光譜終點的檢測精確度，且提高了化學機械拋光設備的工作效率。
登錄解鎖全文
聲明：
“化學機械拋光中光譜終點的檢測方法、裝置及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：同時檢測土壤中鉛鎘重金屬的電化學傳感器的制備方法
下一個：整合有微型針頭的電化學檢測條及相關方法

與 “化學機械拋光中光譜終點的檢測方法、裝置及系統” 相關技術

? 具有高浸潤性的耐高溫鋰離子電池隔膜及其制備方法
? 鍍錫銅線制備用銅絲處理裝置
? 金屬礦山井下超前探水的方法
? 金屬礦山井下隨行供電裝置及掘進設備
? 金屬礦山富水巖層中深豎井水害綜合治理方法
? BOPP邊條回收破碎機進料裝置
? 用于立軸沖擊破碎機的電機座調整裝置
? 稀土硅合金生產用碎粒裝置
? 輥式破碎機壓輥輥面修復裝置
? 擺動對輥破碎機

相關化學分析設備推薦

BM25可移動多氣體監測儀
電鏡原位原子力顯微鏡
尖爪型內徑卡尺
鍋爐焊管在線檢測系統配置
多氣體檢測儀
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?具有高浸潤性的耐高溫鋰離子電池隔膜及其制備方法
?鍍錫銅線制備用銅絲處理裝置
?金屬礦山井下超前探水的方法
?金屬礦山井下隨行供電裝置及掘進設備
?金屬礦山富水巖層中深豎井水害綜合治理方法
?BOPP邊條回收破碎機進料裝置
?用于立軸沖擊破碎機的電機座調整裝置
?稀土硅合金生產用碎粒裝置
?輥式破碎機壓輥輥面修復裝置
?擺動對輥破碎機

報名參會
更多+

第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
第七屆有色金屬分析檢測與標準化技術交流會
2025年07月23日 ~ 26日
第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
第二屆退役新能源器件循環利用技術交流會
2025年07月24日 ~ 26日
2025賀蘭山新材料高端論壇
2025賀蘭山新材料高端論壇
2025年07月24日 ~ 26日
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025綠色低碳鋼鐵行業關鍵技術交流會
2025年07月24日 ~ 26日
2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
2025微納結構金屬間化合物與高熵合金技術交流會
2025年08月01日 ~ 03日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:139
2 取、制樣安全淺析
下載:131
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:108
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:99
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:96
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:95
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:93
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:91
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:90
10 非常規礦產品取制樣方法的探討
下載:89
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX