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用于在高溫環境中檢測或監測化學前體的設備

873   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:36:29
公開了一種用于監測和/或檢測反應室中化學前體濃度的設備和方法。所述設備和方法具有在高溫環境中操作的優點。光學發射光譜儀(OES)聯接于氣體源，例如固體源容器，以便監測或檢測到達所述反應室的所述化學前體的輸出。替代地，可以周期性地監測流動進入所述OES以及進入真空泵，由此繞過所述反應室的少量前體樣品。
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