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金剛石納米線陣列、其制備方法及用于電化學分析的電極

851   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:35:34
本發明公開了一種金剛石納米線陣列、制備方法及用于電化學分析的電極。該制備方法包括：在金剛石薄膜的表面上設置掩模層，該掩模層的圖形構成為覆蓋待形成的各個金剛石納米線的頂端，并暴露出相鄰的金剛石納米線之間的待刻蝕部分；采用ICP-RIE刻蝕工藝對具有掩模層的金剛石薄膜刻蝕，以去除待刻蝕部分，在金剛石薄膜中形成柱狀的各個金剛石納米線；去除位于各個金剛石納米線的頂端的掩膜層的材料。本發明采用ICP-RIE刻蝕，由于增加了具有高的等離子體密度及刻蝕效率的電感耦合元件，可以分別控制等離子體的產生和加速，實現了刻蝕過程和形貌可控，進而得到了側壁陡直性更好且深寬比更高的金剛石納米線陣列。
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