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電化學沉積預分析方法、裝置、設備以及介質

861   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:35:11
本發明公開了一種電化學沉積預分析方法、裝置、設備以及介質。該方法包括：在Miniled基板鍍銅過程中實時采集過程參數的生產數據；根據各過程參數的生產數據繪制該過程參數的控制圖，控制圖以生產數據的采集時間為第一數軸、以數值為第二數軸、以各生產數據為數據點進行繪制；利用預設置的與各過程參數對應的檢測閾值分析對應的控制圖并輸出該過程參數的預判結果；分別判斷各過程參數的預判結果，若各預判結果中的至少一個為異常結果則發出警報。本發明提供的方法對處于穩態的生產過程進行預分析，利用統計學原理及時發現電化學沉積設備的運行異常趨勢，通過及時調整各項參數以保證設備穩定運行，從而提高產品良率，降低了資源浪費和成本。
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