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基于偏振光散射法檢測工件表面綜合性能參數的裝置

869   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:30:38
基于偏振光散射法檢測工件表面綜合性能參數的裝置，屬于光學檢測領域，本實用新型為解決現有加工工件表面性能檢測裝置只能檢測單一特征參數，不能準確、快速、簡便地檢測綜合性能參數的問題。本實用新型激光入射至分光鏡分光，水平激光通過擴束器、起偏器和反光鏡入射至工件表面，反射后入射至電荷耦合陣列檢測器；垂直激光通過擴束器、起偏器和分光鏡分為水平激光和垂直激光；水平激光通過透鏡入射至電荷耦合陣列檢測器；垂直激光通過偏振分光鏡分為水平S光和垂直P光；水平S光通過反光鏡和透鏡入射至工件表面，反射后入射至光電二極管陣列；垂直P光通過透鏡入射至工件表面，反射后入射至光電二極管陣列。用于檢測加工工件表面綜合特征參數。
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“基于偏振光散射法檢測工件表面綜合性能參數的裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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