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一種靜電卡盤基本性能檢測裝置

807   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:23:56
本實用新型公開了集成電路制造領域的一種靜電卡盤基本性能檢測裝置。所述裝置由驅動裝置、傳動裝置、拉力傳感器、溫度測量裝置、靜電卡盤、真空腔室、真空獲得裝置和數據采集系統組成。本裝置實現了靜電力大小測量、晶圓脫附時間測量和晶圓表面溫度測量三項功能的綜合集成；原理簡單、結構緊湊，可有效節省空間；適應性廣，可用于等離子體環境中，能有效保證真空腔室的密封性；操作方便，不會造成晶圓變形和破損，測量精度高。
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“一種靜電卡盤基本性能檢測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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