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靜電卡盤性能檢測裝置及檢測方法

731   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 06:14:54
本發明公開了一種靜電卡盤性能檢測裝置及檢測方法，屬于靜電卡盤性能檢測領域。所述靜電卡盤性能檢測裝置包括真空腔室和測試氣路，真空腔室上連接有真空泵，真空腔室內設置有轉接盤，轉接盤的上方設置有靜電卡盤，靜電卡盤的上表面用于放置被吸附物，靜電卡盤與被吸附物之間存在吸附縫隙，靜電卡盤和轉接盤的中心處設置有與測試氣路相連通的氣孔；測試氣路上依次設置有背吹氣源、氣體質量流量計和真空計，背吹氣源與氣體質量流量計之間設置有第一閥體，氣體質量流量計與真空計之間設置有第二閥體。本發明既可以保證檢測環境與超薄材料的鍍膜工藝環境一致，又能使檢測時被吸附物在其中心受力，根據該方法判斷出的靜電卡盤吸附性能也較準確。
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