本發明涉及測量由微小力引起的微小位移及微小角位移的傳感器領域,具體涉及一種多聯多扇差動電容傳感器系統裝置。一種多聯多扇差動電容傳感器系統裝置,其特征是,各組的左、右定扇和中間動扇都是由導電扇形和絕緣扇形均勻扇形間隔的圓盤,其中導電扇形的相鄰兩側是絕緣扇形,或絕緣扇形的相鄰兩側是導電扇形,依次類推;圓盤的扇形個數是M個,M是大于或等于2,小于或等于360的自然偶數,扇形的角度是360/M度。本發明的有益效果是無機械觸點,抗干擾強,工作可靠,使用壽命長,制作簡單,成本低。本發明的靈敏度靈敏度達到10-11,可以測量微小力引起的微小位移及微小角位移,如微重力探礦,地球潮汐等,可廣泛應用到航空航天領域。
聲明:
“多聯多扇差動電容傳感器系統裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)