本發明實施例公開了一種檢測NO2氣體的方法。根據該方法,制造LED器件和鈣鈦礦探測器單元,并對LED器件加偏壓發出藍光,藍光通過柔性基底材料被鈣鈦礦敏感層探測到,從而會有電流信號的輸出。將整個集成器件置于不同體積比的NO2氣氛中,藍光LED器件會對不同的NO2含量有不同的吸收,導致LED發光效率不一樣,從而探測器感知到的光信號強度也不一樣,最終輸出的電流信號會發生變化,根據這些變化φ擬合出和NO2含量的線性相關比。此方法所提出的柔性氣體檢測集成系統,對日后應用在工業污染監測NO2有推廣意義。
聲明:
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