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小晶粒銳鈦礦光學薄膜、制備方法及其用途

881   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-01 00:40:02
本發明公開了一種小晶粒銳鈦礦光學薄膜及其制備方法，有效抑制銳鈦礦大晶?，F象的技術難題，有效地提高了像增強器輸入窗與光電陰極界面的透過率，提高了光電陰極的光電發射效率，屬于光電探測領域。本發明所述小晶粒銳鈦礦光學薄膜制備在玻璃基底表面。小晶粒銳鈦礦光學薄膜由過渡層、銳鈦礦薄膜和夾層薄膜組成。銳鈦礦薄膜制備在過渡層薄膜表面，在銳鈦礦薄膜的基礎上制備夾層薄膜，周期性的重復銳鈦礦薄膜和夾層薄膜的制作，且表層為銳鈦礦薄膜，達到要求的厚度即完成小晶粒銳鈦礦光學薄膜制備。
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