本發明公開了一種氧氣傳感器及其制備方法、氧氣檢測系統,屬于光學傳感技術領域,能夠解決現有氧氣傳感器的靈敏度較低、測量精度較差,難以滿足大眾化的氧氣濃度的檢測需求的問題。所述氧氣傳感器包括光纖;光纖的纖芯中含有氫分子;光纖上設置有傾斜光纖光柵,傾斜光纖光柵的傾斜角度小于45度;傾斜光纖光柵的表面設置有氧敏感膜;氧敏感膜包含鈣鈦礦納米材料。傾斜光纖光柵在氧敏感膜涂覆的情況下可以實現氧氣特異性識別測量。本發明用于測量氧氣濃度。
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