權利要求書： 1.一種硅片側邊檢測裝置，其特征在于，所述硅片側邊檢測裝置包括第一檢測單元和第二檢測單元，所述第一檢測單元和所述第二檢測單元結構相同，分別用于檢測硅片的相互平行的兩個側邊；所述第一檢測單元和所述第二檢測單元均包括側邊檢測組件，所述側邊檢測組件包括第一點光源、第一光路限定元件和相機，所述第一光路限定元件包括反光面和狹縫，所述反光面用于反射由所述第一點光源發出的光，并將所述第一點光源發出的光反射到待檢測硅片的側邊，所述光被所述待檢測硅片的側邊反射并穿過所述狹縫進入所述相機。2.根據權利要求1所述的硅片側邊檢測裝置，其特征在于，所述相機與所述第一光路限定元件共線設置，且所述相機的光軸與所述狹縫對應；所述第一點光源設置在所述反光面的正上方。3.根據權利要求1所述的硅片側邊檢測裝置，其特征在于，所述第一光路限定元件還包括第一安裝座，所述第一安裝座呈直角三棱柱狀，所述反光面固定在所述第一安裝座的斜面上。4.根據權利要求1所述的硅片側邊檢測裝置，其特征在于，所述反光面包括第一反光面和第二反光面，所述第一反光面和所述第二反光面對稱固定在所述狹縫的兩側。5.根據權利要求1所述的硅片側邊檢測裝置，其特征在于，所述第一光路限定元件的內腔為經過黑化處理的內腔，所述內腔包括所述狹縫的內壁和/或反光面的背面。6.根據權利要求1所述的硅片側邊檢測裝置，其特征在于，所述第一檢測單元和所述第二檢測單元還均包括第一倒角檢測組件和第二倒角檢測組件，所述第一倒角檢測組件和第二倒角檢測組件結構相同，且相對所述側邊檢測組件對稱設置；所述第一倒角檢測組件和所述第二倒角檢測組件均包括第二光路限定元件，所述第二光路限定元件包括第二安裝座、第三反光面、第四反光面和通道，所述通道設置在所述第二安裝座上，用于為所述待檢測硅片提供輸送通道，所述第三反光面和所述第四反光面分別固定設置在所述通道兩側。7.根據權利要求6所述的硅片側邊檢測裝置，其特征在于，所述第一倒角檢測組件和所述第二倒角檢測組件還均包括第二點光源，所述第三反光面和所述第四反光面用于反射由所述第二點光源發出的光，并將所述光反射至所述待檢測硅片的倒角，所述光被所述待檢測硅片的倒角反射并穿過所述狹縫進入所述相機。8.根據權利要求6所述的硅片側邊檢測裝置，其特征在于，所述第二安裝座呈直角三棱柱狀，所述
聲明：
“硅片側邊檢測裝置及硅片分選機” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：無錫奧特維科技股份有限公司
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2025年07月24日 ~ 26日 
