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掃描電鏡裝置

1284   編輯:中冶有色網   來源:威科賽樂微電子股份有限公司  
2024-06-17 15:58:33
權利要求書: 1.一種掃描電鏡裝置,其特征在于,包括:電子槍(300),設置在電子真空腔室內用于產生檢測分析需要的電子;掃描電鏡(100),設置在所述電子槍(300)的電子出口處用于調整電子的活動軌跡;還包括樣品臺(200),用于放置需要進行檢測分析的晶圓;所述掃描電鏡(100)包括第一目鏡腔室(120)和第二目鏡腔室(130),所述第一目鏡腔室(120)和所述第二目鏡腔室(130)內分別設置有調節電壓以使得穿過所述第一目鏡腔室(120)和所述第二目鏡腔室(130)的電子能夠轟擊到所述樣品臺(200)上。 2.根據權利要求1所述的掃描電鏡裝置,其特征在于,所述掃描電鏡(100)還包括測試腔室(140)和放樣腔(150),所述放樣腔(150)與所述測試腔室(140)并排放置,所述放樣腔(150)與所述測試腔室(140)之間設置有連接閥(160)。 3.根據權利要求2所述的掃描電鏡裝置,其特征在于,所述放樣腔(150)遠離所述測試腔室(140)的側面上設置有連接孔和推桿(240),所述連接孔用于供所述推桿(240)穿過,所述推桿(240)位于所述放樣腔(150)內的一端與所述樣品臺(200)連接,使得所述樣品臺(200)能夠在所述推桿(240)的推拉下進行移動。 4.根據權利要求3所述的掃描電鏡裝置,其特征在于,所述樣品臺(200)包括連接塊(220)、放樣盤(210)和彈簧片(230),所述放樣盤(210)一側與所述連接塊(220)連接,所述放樣盤(210)周側設置有與所述彈簧片(230)連接的厚度超過所述放樣盤(210)的卡片(231),所述彈簧片(230)一端與所述卡片(231)連接,另一端設置在所述連接塊(220)內。 5.根據權利要求4所述的掃描電鏡裝置,其特征在于,所述測試腔室(140)內設置有用于連接所述樣品臺(200)的測試載臺(141),所述測試載臺(141)包括連接臺(142)和設置在所述連接臺(142)側面上的導軌(143)和連接銷(144),所述連接銷(144)和所述連接塊(220)上的連接孔(221)配合連接并基于所述連接銷(144)的長度將所述樣品臺(200)設置到電子能夠轟擊到的位置。 6.根據權利要求4所述的掃描電鏡裝置,其特征在于,所述電子真空腔室(110)、所述第一目鏡腔室(120)、所述第二目鏡腔室(130)和所述測試腔室
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