權利要求書(shū):
1.一種轉盤(pán)式芯片分選機頂針機構,其特征在于,包括第一驅動(dòng)機構、頂針機構、第二驅動(dòng)機構以及頂針運動(dòng)機構,所述第一驅動(dòng)機構用于帶動(dòng)頂晶機構運動(dòng),所述第二驅動(dòng)機構用于帶動(dòng)所述頂針機構運動(dòng),以調節頂針機構頂晶時(shí)的吸嘴與晶圓三個(gè)中心一致,所述頂針運動(dòng)機構用于將藍膜上的晶圓頂出至擺臂吸嘴上。
2.根據權利要求1所述的一種轉盤(pán)式芯片分選機頂針機構,其特征在于,所述第一驅動(dòng)機構包括運動(dòng)氣缸或直線(xiàn)電機,所述第一驅動(dòng)機構固定設置在氣缸固定座一側,所述氣缸固定座遠離所述第一驅動(dòng)機構的一側設置有頂晶底座。
3.根據權利要求2所述的一種轉盤(pán)式芯片分選機頂針機構,其特征在于,所述第一驅動(dòng)機構輸出端連接有螺栓以及推塊,所述頂針機構包括與所述推塊相連的頂針前后模塊,所述頂晶底座一側設置有拖鏈板,所述第二驅動(dòng)機構包括運動(dòng)電機,所述運動(dòng)電機輸出端連接第一拖鏈和第二拖鏈。
4.根據權利要求3所述的一種轉盤(pán)式芯片分選機頂針機構,其特征在于,所述頂晶底座一側還固定設置有頂晶限位塊以及導軌,所述運動(dòng)氣缸輸出端還連接有無(wú)頭頂絲,所述推塊一側通過(guò)滑塊與所述導軌滑動(dòng)配合。
5.根據權利要求2所述的一種轉盤(pán)式芯片分選機頂針機構,其特征在于,所述頂晶底座一側設置有定位銷(xiāo)釘,所述頂晶底座一側設置有閥板,所述閥板一側設置有電磁閥組件。
6.根據權利要求1所述的一種轉盤(pán)式芯片分選機頂針機構,其特征在于,所述頂針運動(dòng)機構包括擺臂以及設置在所述擺臂一側的頂針帽。
說(shuō)明書(shū): 一種轉盤(pán)式芯片分選機頂針機構技術(shù)領(lǐng)域[0001] 本實(shí)用新型屬于芯片分選技術(shù)領(lǐng)域,具體是一種轉盤(pán)式芯片分選機頂針機構。背景技術(shù)[0002] 目前,在芯片生產(chǎn)過(guò)程中,通常需要對芯片進(jìn)行分選頂出,現有的芯片頂出機構工作時(shí)芯片穩定性較差,容易產(chǎn)生晃動(dòng),亟需改進(jìn)。實(shí)用新型內容
[0003] 針對上述現有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型實(shí)施例要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種轉盤(pán)式芯片分選機頂針機構。[0004] 為解決上述技術(shù)問(wèn)題,本實(shí)用新型提供了如下技術(shù)方案:[0005] 一種轉盤(pán)式芯片分選機頂針機構,包括第一驅動(dòng)機構、頂針機構、第二驅動(dòng)機構以及頂針運動(dòng)機構,[0006] 所述第一驅動(dòng)機構用于帶動(dòng)頂晶機構運動(dòng),[0007] 所述第二驅動(dòng)機構用于帶動(dòng)所述頂針機構運動(dòng),以調節頂針機構頂晶時(shí)的吸嘴與晶圓三個(gè)中心一致,[0008] 所述頂
聲明:
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