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用于CPP薄膜的X射線測厚儀探頭

629   編輯:中冶有色網   來源:青島偉東鈞諾新材料有限公司  
2024-03-15 10:47:25
權利要求書: 1.一種用于CPP薄膜的X射線測厚儀探頭,其特征在于:包括C型架,所述C型架的內頂壁和內底壁均開有安裝倉,所述C型架通過上下兩個安裝倉安裝有升降探頭裝置,所述升降探頭裝置包括設置在下側的安裝倉中的升降接收裝置和設置在上側的安裝倉中的升降X射線發射裝置,所述升降接收裝置的頂部和升降X射線發射裝置的底部均固定安裝有封閉板。 2.根據權利要求1所述的一種用于CPP薄膜的X射線測厚儀探頭,其特征在于:所述升降接收裝置包括固定安裝在下側的安裝倉中的第一絲桿和第一滑桿,所述第一絲桿的外側螺紋連接有第一絲桿步進電機,所述第一絲桿步進電機固定安裝在接收裝置安裝盒的左右兩側,所述接收裝置安裝盒的底部固定安裝有第一轉軸,所述第一轉軸轉動安裝在第一軸承座中,所述第一軸承座的底部固定安裝有第一安裝板,所述第一安裝板被第一絲桿和第一滑桿貫穿,所述第一安裝板與第一滑桿滑動連接且不與第一絲桿接觸。 3.根據權利要求2所述的一種用于CPP薄膜的X射線測厚儀探頭,其特征在于:所述接收裝置安裝盒的內部固定安裝有電離室,所述電離室的頂部固定連接有接收探頭窗口,所述接收探頭窗口的頂部貫穿接收裝置安裝盒的頂板,所述接收裝置安裝盒的內腔中固定安裝有屏蔽層。 4.根據權利要求3所述的一種用于CPP薄膜的X射線測厚儀探頭,其特征在于:所述升降X射線發射裝置包括固定安裝在上側的安裝倉中的第二絲桿和第二滑桿,所述第二絲桿的外側螺紋連接有第二絲桿步進電機,所述第二絲桿步進電機固定安裝在發射裝置安裝盒的左右兩側,所述發射裝置安裝盒的頂部固定安裝有第二轉軸,所述第二轉軸轉動安裝在第二軸承座中,所述第二軸承座的頂部固定安裝有第二安裝板,所述第二安裝板被第二絲桿和第二滑桿貫穿,所述第二安裝板與第二滑桿滑動連接且不與第二絲桿接觸。 5.根據權利要求4所述的一種用于CPP薄膜的X射線測厚儀探頭,其特征在于:所述發射裝置安裝盒的內部固定安裝有X射線管、高壓發生器和控制器,所述X射線管的底部為發射探頭窗口,所述發射探頭窗口的底部貫穿發射裝置安裝盒的底板。 6.根據權利要求5所述的一種用于CPP薄膜的X射線測厚儀探頭,其特征在于:所述第一絲桿和第一滑桿的頂部、第二絲桿和第二滑桿的底部均固定安裝有限位板。 7.根據權利要求6所述的一種用于CPP薄膜的X射線測厚
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