權利要求書: 1.一種全自動晶圓分選機取料精密夾緊裝置,包括工作臺(1),其特征在于:所述工作臺(1)的一側設置有夾緊機構,所述夾緊機構包括滑板(2)、安裝架(3)、連桿組件和用于夾緊晶圓貼片的夾持板(7),所述夾持板(7)和滑板(2)固定連接,滑板(2)和工作臺(1)滑動連接,所述滑板(2)通過連桿組件和氣缸(4)的活動端相連接。
2.根據權利要求1所述的一種全自動晶圓分選機取料精密夾緊裝置,其特征在于:所述連桿組件包括連桿一(5)、連桿二(6)、轉軸(13)和連桿三(18),所述氣缸(4)的活動端上固定連接有轉軸(13),所述轉軸(13)上轉動連接有兩個連桿三(18),每個連桿三(18)均和對應的連桿二(6)的桿體轉動連接,連桿二(6)的兩端分別和滑板(2)以及安裝架(3)轉動連接,所述連桿二(6)的一側設置有連桿一(5),所述連桿一(5)的兩端分別和滑板(2)以及安裝架(3)轉動連接。
3.根據權利要求1或2所述的一種全自動晶圓分選機取料精密夾緊裝置,其特征在于:
所述氣缸(4)外殼體的下方固定連接有承載板(17),所述承載板(17)上設置有磁性吸附機構。
4.根據權利要求3所述的一種全自動晶圓分選機取料精密夾緊裝置,其特征在于:所述磁性吸附機構包括推拉桿(12)、導電片一(14)、套筒(15)和導電片二(16),所述套筒(15)和承載板(17)固定連接,所述套筒(15)的內側固定連接有導電片二(16),所述套筒(15)內滑動連接有推拉桿(12),推拉桿(12)和轉軸(13)固定連接,所述推拉桿(12)上固定連接有導電片一(14),所述導電片一(14)和導電片二(16)均和外部電源電性連接,所述推拉桿(12)上固定連接有電磁鐵(11),所述電磁鐵(11)、導電片一(14)、導電片二(16)以及外部電源組成回路,工作臺(1)內開設有滑槽,所述轉軸(13)在滑槽內移動。
5.根據權利要求4所述的一種全自動晶圓分選機取料精密夾緊裝置,其特征在于:所述滑板(2)上固定連接有桿件一(8),所述桿件一(8)內彈性連接有桿件二(9),所述桿件二(9)上固定連接有風機(10),所述風機(10)和外部控制設備電性連接。
說明書: 一種全自動晶圓分選機取料精密夾緊裝置技術領域[000
聲明:
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我是此專利(論文)的發明人(作者)