權利要求書： 1.一種半導體材料的電解拋光裝置，包括底板(1)，其特征在于，所述底板(1)的上端側壁上固定連接有裝置座(2)，所述裝置座(2)的上端設有電解池(3)，所述電解池(3)上設有開口朝上的電解槽(4)，所述電解池(3)的一側側壁上設有恒流電源(5)，所述電解槽(4)靠近恒流電源(5)一側的內壁上固定連接有陰極(6)，所述陰極(6)為鉑電極，所述電解槽(4)的底部內壁中固定連接有承載墊(7)，所述陰極(6)通過第一導線(8)與恒流電源(5)的負極電連接，所述承載墊(7)的一側側壁上通過第二導線(9)與恒流電源(5)的正極電連接，所述承載墊(7)的上端側壁上等間距設有多個陽極(11)，多個所述陽極(11)均為待拋光半導體材料，所述電解槽(4)內裝盛有電解液(13)，所述電解液(13)浸沒陰極(6)和陽極(11)，所述裝置座(2)內設有加熱裝置，所述底板(1)上設有升降攪拌機構；所述承載墊(7)的上端側壁上等間距設有多個承載槽(10)，多個所述陽極(11)分別設置在多個承載槽(10)內，多個所述陽極(11)均通過導電膠(12)與承載墊(7)電連接；所述加熱裝置包括設置在裝置座(2)的側壁中的陶瓷電加熱板(15)，所述裝置座(2)的上端側壁上設有與電解池(3)位置相對應的放置槽(14)，所述電解池(3)的下端位于放置槽(14)內，所述陶瓷電加熱板(15)設置在放置槽(14)的正下方；所述電解池(3)的一側側壁上固定連接有安裝板(16)，所述恒流電源(5)的下端側壁與安裝板(16)的上端側壁固定連接；所述升降攪拌機構包括固定連接在底板(1)的上端側壁上的電動推桿(17)，所述電動推桿(17)輸出軸的末端朝上固定連接有頂板(18)，所述頂板(18)的上端側壁上通過安裝座(19)固定連接有電機(20)，所述安裝座(19)和頂板(18)的側壁上共同貫穿設有通孔(21)，所述通孔(21)與電解池(3)為同軸心設置，所述電機(20)輸出軸的末端貫穿通孔(21)并固定連接有攪拌框(22)，所述電機(20)的輸出軸通過軸承與通孔(21)的內壁轉動連接，所述攪拌框(22)的兩側側壁上均等間距設有多個攪拌軸(23)，多個所述攪拌軸(23)均通過連接塊(24)與攪拌框(22)的兩側側壁固定連接；所述攪拌框(22)設置為矩形框體，多個
聲明：
“半導體材料的電解拋光方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：管理員
來源：江蘇守航實業有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
