權利要求書： 1.硫化鋅真空氣相沉積爐，包括爐體，所述爐體內設有清掃裝置，其特征在于：所述清掃裝置鉸接在爐體的側壁上且沿所述側壁翻轉，所述清掃裝置從氣相沉積爐的進口伸入所述氣相沉積爐內。
2.根據權利要求1所述的硫化鋅真空氣相沉積爐，其特征在于：所述清掃裝置包括基座和刮刷機構，所述基座鉸接在所述氣相沉積爐的側壁上，所述刮刷機構固定在所述基座上且隨所述基座翻轉置于所述氣相沉積爐內。
3.根據權利要求2所述的硫化鋅真空氣相沉積爐，其特征在于：所述刮刷機構包括伸縮臂，所述伸縮臂的一端固定在所述基座上且與固定在所述基座上的壓縮機連通，所述伸縮臂的另一端固定毛刷。
4.根據權利要求3所述的硫化鋅真空氣相沉積爐，其特征在于：所述伸縮臂包括若干節相互套合的中空管，底部的一節所述中空管固定在所述基座上且與壓縮機連通。
說明書： 硫化鋅真空氣相沉積爐技術領域[0001] 本實用新型涉及一種氣相沉積爐，尤其涉及氣相沉積爐的清潔機構的改進。背景技術[0002] 氣相沉積爐使用過程中會有部分物料殘留在爐壁上，因而必須要對爐壁定期進行清潔，現有的清潔方式是直接人工進行清潔，當爐腔較大且深時人工清潔的強度大，清潔不
夠均勻，清潔時間長、效率低。
實用新型內容
[0003] 為了克服現有技術的不足，本實用新型提供了一種清潔速度快、效率高的硫化鋅真空氣相沉積爐。
[0004] 本實用新型采用如下技術方案實現：硫化鋅真空氣相沉積爐，包括爐體，所述爐體內設有清掃裝置，所述清掃裝置鉸接在爐體的側壁上且沿所述側壁翻轉，所述清掃裝置從
氣相沉積爐的進口伸入所述氣相沉積爐內。
[0005] 所述清掃裝置包括基座和刮刷機構，所述基座鉸接在所述氣相沉積爐的側壁上，所述刮刷機構固定在所述基座上且隨所述基座翻轉置于所述氣相沉積爐內。
[0006] 所述刮刷機構包括伸縮臂，所述伸縮臂的一端固定在所述基座上且與固定在所述基座上的壓縮機連通，所述伸縮臂的另一端固定毛刷。
[0007] 所述伸縮臂包括若干節相互套合的中空管，所述底部的一節中空管固定在所述基座上且與壓縮機連通。
[0008] 相比現有技術，本實用新型刮刷機構包括伸縮臂，所述伸縮臂的一端固定在所述基座上且與固定在所述基座上的壓縮機連通，所述伸縮臂的另一
聲明：
“硫化鋅真空氣相沉積爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：揚州市碩成偉業電熱設備有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
