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中船特氣深耕電子特氣領(lǐng)域 三氟化氮、六氟化鎢助力半導體產(chǎn)業(yè)

2025-04-21 12:30:12 來(lái)源：金融界
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簡(jiǎn)介：中船特氣專(zhuān)注于電子特種氣體及含氟新材料的研發(fā)與生產(chǎn)，核心產(chǎn)品包括三氟化氮、六氟化鎢等高純度電子特氣，廣泛應用于半導體制造等領(lǐng)域。公司持續優(yōu)化技術(shù)工藝，為國內電子材料供應鏈提供關(guān)鍵支持。
中船特氣作為國內電子特種氣體領(lǐng)域的重要企業(yè)，近年來(lái)持續深耕高純度三氟化氮、六氟化鎢等關(guān)鍵材料的研發(fā)與生產(chǎn)。這些電子特氣在半導體制造、顯示面板及光伏等行業(yè)中具有不可替代的作用，尤其在芯片蝕刻、化學(xué)氣相沉積（CVD）等核心工藝環(huán)節需求旺盛。??

三氟化氮因其優(yōu)異的蝕刻性能和穩定性，已成為半導體制造中的主流清洗氣體。隨著(zhù)先進(jìn)制程芯片的產(chǎn)能擴張，全球市場(chǎng)對高純度三氟化氮的需求持續增長(cháng)。中船特氣通過(guò)優(yōu)化生產(chǎn)工藝，提升產(chǎn)品純度，逐步打破國外廠(chǎng)商在該領(lǐng)域的長(cháng)期壟斷。與此同時(shí)，六氟化鎢作為重要的金屬氟化物氣體，在集成電路鎢栓塞工藝中發(fā)揮關(guān)鍵作用，其國產(chǎn)化進(jìn)程對保障產(chǎn)業(yè)鏈安全具有重要意義。??

除傳統電子特氣外，公司還布局三氟甲磺酸系列含氟新材料。這類(lèi)材料在醫藥、電池電解液等新興領(lǐng)域展現出廣闊前景。例如，三氟甲磺酸鋰因其高熱穩定性和高導電性，正成為下一代固態(tài)電池的潛在電解質(zhì)材料。中船特氣通過(guò)產(chǎn)學(xué)研合作，持續拓展含氟化合物的應用邊界。??

行業(yè)分析指出，隨著(zhù)國內半導體產(chǎn)業(yè)鏈本土化趨勢加速，電子特氣作為"芯片糧食"的戰略地位日益凸顯。近年來(lái)，包括中船特氣在內的多家中國企業(yè)通過(guò)技術(shù)攻關(guān)，已實(shí)現部分電子特氣產(chǎn)品的進(jìn)口替代。但高端產(chǎn)品領(lǐng)域仍存在明顯差距，特別是在7納米以下制程所需的超純氣體方面，國際競爭依然激烈。??

在產(chǎn)能布局方面，中船特氣正逐步完善生產(chǎn)基地建設，通過(guò)智能化改造提升生產(chǎn)效率。值得注意的是，電子特氣行業(yè)對安全生產(chǎn)和環(huán)保合規有著(zhù)極高要求，公司在氣體純化、儲存運輸等環(huán)節建立了嚴格的質(zhì)量控制體系。隨著(zhù)全球半導體產(chǎn)業(yè)向中國轉移，本土電子特氣企業(yè)有望迎來(lái)新的發(fā)展機遇。??
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