市場(chǎng)背景:硅片生產(chǎn)過(guò)程中,在硅片清洗環(huán)節需要使用到硅片插片機。硅片插片機在 使用時(shí),工人利用輔助工裝將硅片插入到放置在載片裝置上的硅片盒中。硅片盒設有多個(gè)容納硅片的插槽。為了保證硅片能夠準確插入到硅片盒上的插槽中,在插入硅片前,需要將輔助工裝與載片裝置進(jìn)行對齊校準。
技術(shù)難點(diǎn):目前市場(chǎng)上的硅片插片方式都是平式的,這種結構只用滿(mǎn)足小尺寸硅片,如166型,180型硅片,如果硅片尺寸增加,受硅片自重及厚度限制,平式插片機會(huì )大大增加不良率,因此需要研發(fā)立式分片這一新型技術(shù)來(lái)解決這個(gè)難題。
指標要求:1.人性化的外形結構提高設備各單元間的銜接效率、減少占地空間和便于工人操作。2.具備兩級連片檢測,并且分片時(shí)間短,運行中硅片無(wú)任何撞擊。3.具有卡籃硅片自動(dòng)識別和剔除功能和多片連續卡籃報警功能。4.定位入籃和機械手空滿(mǎn)籃工位換裝時(shí)間短,設備產(chǎn)能高。5.軸承與水隔離和防濺水隔離措施,實(shí)現免維護,具有設備使用壽命長(cháng)、運行成本低、產(chǎn)能高等優(yōu)點(diǎn)。6.對應目前全系列尺寸硅片花籃,根據客戶(hù)需求定做。7.在保證碎片率的情況下每小時(shí)裝片不小于4200片。