本發(fā)明公開(kāi)了一種多節點(diǎn)協(xié)同的多層復合薄膜材料制備方法及裝置，涉及材料制備技術(shù)領(lǐng)域，該方法包括：將多層復合薄膜制備工藝流程作為圖節點(diǎn)構建工藝圖結構，以工藝流程間物理參數聯(lián)系為邊，按時(shí)序關(guān)系設約束條件并擬合至邊中，約束節點(diǎn)到下游節點(diǎn)延遲時(shí)間。依時(shí)序約束確定工藝順序，各節點(diǎn)通過(guò)邊傳遞上游特征信息并聚合，結合自身特征生成新節點(diǎn)特征，再根據新特征解析獲得節點(diǎn)制備參數。解決了現有多層復合薄膜制備中各工藝流程節點(diǎn)獨立、缺乏時(shí)序約束，降低了制備均勻性、產(chǎn)品質(zhì)量穩定性的技術(shù)問(wèn)題