電子探針X射線(xiàn)顯微分析儀

電子探針X射線(xiàn)顯微分析儀，又名微區X射線(xiàn)譜分析儀?？蓪υ嚇舆M(jìn)行微小區域成分分析。除H、He、Li、Be等幾個(gè)較輕元素外，還有U元素以后 的元素以外都可進(jìn)行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經(jīng)過(guò)加速和聚焦的極窄的電子束為探針，激發(fā)試樣中某一微小區域，使其發(fā)出特征X射線(xiàn)，測定該X射線(xiàn)的波長(cháng)和強度，即可對該微區的元素作定性或定量分析。?？梢赃M(jìn)行點(diǎn)、線(xiàn)掃描（得到成分分布信息）、面掃描（得到成分面分布圖像）。相對EDS，檢測限更低，有標測試，對于輕元素、微量元素測試精度更高。