管式LPCVD設備

設備名稱(chēng) Equipment Name

管式LPCVD設備 Horizontal LPCVD

設備型號 Equipment Model

LD-420/LD-420L/LD-420MAX

設備用途 Equipment Application

TOPCon電池隧穿氧化層、i-poly、D-poly低壓化學(xué)氣相沉積。

Deposition of tunnel oxide layer, i-Poly and D-poly for TOPCon solar cells.

技術(shù)特點(diǎn) Features

1、低壓與熱壁工藝特性，成膜均勻性、致密性好。

Low pressure and hot wall process characteristics, with better film uniformity and good compactness.

2、LPCVD工藝特性，基片密排對成膜速率影響小，單管裝片量大。

LPCVD process, densely loaded substrates have little effect on the coating rate, with large loading capacity in single tube.

3、更多溫區設置，可靠保證片間均勻性。

More temperature zones to ensure the uniformity between wafers reliably.

4、獨立調節分段進(jìn)氣，彌補氣流耗盡效應。

Independently adjustable segmented air inlet to compensate for the airflow depletion effect.

設備參數 Parameters

·最大兼容硅片尺寸:□230mm·Max.Compatible Wafer Size:□230mm

·單機管數:5管/6管

·Tube Configuration: 5 tubes/6 tubes

·單管裝片量(單插雙面成膜)Loading Capacity/Tube(single wafer loading, double-sided coating)

機型Model：182□210

LD-420：800片/管(pcs/tube)、800片/管(pcs/tube)

LD-420L：1320片/管(pcs/tube)、1200片/管(pcs/tube)

LD-420MAX：1644片/管(pcs/tube)、1430片/管(pcs/tube)

·單機產(chǎn)能(隧穿氧化層+i-Poly)Throughput(Tunnel oxide+i-Poly)

機型Model：182□210

LD-420(5管/tubes)：2900片/小時(shí)(pcs/h)、2900片/小時(shí)(pcs/h)

LD-420L(6管/tubes)：4750片/小時(shí)(pcs/h)、4300片/小時(shí)(pcs/h)

LD-420MAX(6管/tubes)：5900片/小時(shí)(pcs/h)、5100片/小時(shí)(pcs/h)

·外形尺寸(mm，含地腳，不含泵)Footprint (mm, incl.leveling foot, excl. pumps)

LD-420：9425x2125x4480(6管/tubes)、9425x2125x3820(5管/tubes)

LD-420L：9528x2076x4400(6管/tubes)、9528x2076x3750(5管/tubes)

LD-420MAX：10048x2240x4490(6管/tubes)、10048x2240x3885(5管/tubes)