氣相沉積設備

LPCVD MM650是一款低壓化學(xué)氣相沉積設備，工藝成熟且穩定，早期用于TOPcon電池的量產(chǎn)。其產(chǎn)能為每小時(shí)9400片182*182電池，且產(chǎn)線(xiàn)平均良率較高，鍍膜均勻性好。設備擁有自有專(zhuān)利的布氣系統，增加了流場(chǎng)的均勻性和可控性。其主要優(yōu)點(diǎn)包括：高良率，得益于專(zhuān)利流程設計;石英管周期長(cháng)，通過(guò)特殊設計的固定方式和低耗氣量，實(shí)現了6個(gè)月的使用周期;溫場(chǎng)穩定，通過(guò)合理的加熱絲布局，確保溫場(chǎng)的一致性和可控性?？傊?，LPCVD MM650在產(chǎn)能、良率和穩定性方面表現出色。

氣相沉積設備LPCVD MM650

低壓化學(xué)氣相沉積設備,工藝成熟，穩定，較早用于TOPcon電池量產(chǎn)的LPCVD設備。

產(chǎn)能：

9400PCS/小時(shí)@182*182電池產(chǎn)線(xiàn)平均良率較高，鍍膜均勻性好;自有專(zhuān)利的布氣系統，增加了流場(chǎng)均勻性和可控性

設備優(yōu)點(diǎn)：

良率高：自有專(zhuān)利的流程設計帶來(lái)量產(chǎn)中高的良率，鍍膜均勻性好。

石英管周期長(cháng)：通過(guò)特殊設計的石英管固定方式和低的耗氣量，實(shí)現6個(gè)月的使用周期。

溫場(chǎng)穩定：通過(guò)合理的加熱絲布局，具有較好一致性好和可控性，從而使溫場(chǎng)穩定可控。