工作原理
Formtracer CS-3200S4采用高精度金剛石觸針(針尖半徑2μm)與閉環反饋驅動系統協同工作:測量時,觸針以0.5mN的恒定測量力(可調范圍0.1-10mN)沿被測表面垂直移動,表面微觀起伏使觸針產生位移,該位移通過高分辨率電感傳感器(分辨率0.0001μm)轉化為電信號;閉環驅動系統(PID控制算法)實時調整觸針位置,確保測量力恒定,消除因接觸力波動導致的誤差;電信號經24位ADC模數轉換后,由嵌入式處理器(ARM Cortex-A53)計算表面粗糙度參數(Ra、Rz、Rq等),同時支持輪廓曲線(波紋度、直線度)、波紋度(Wt、Wq)及功能參數(Mp、Ml)的同步分析;測量結果通過USB 3.0或Wi-Fi 6實時傳輸至PC端軟件,支持ISO 4287、ISO 13565、ASME B46.1等多國標準,數據可導出為PDF/CSV格式,兼容QC-CALC、Minitab等統計軟件。
應用范圍
覆蓋多行業高精度檢測場景:精密制造(軸承滾道表面粗糙度、齒輪齒面形貌、液壓閥體密封面粗糙度)、汽車零部件(發動機缸體珩磨紋、變速器同步器摩擦面、剎車盤表面波紋度)、半導體封裝(晶圓背面拋光粗糙度、芯片鍵合區表面形貌、引線框架鍍層粗糙度)及醫療器械(人工關節表面紋理、手術器械刃口粗糙度、植入物涂層均勻性)等,尤其適合測量超光滑表面(Ra<0.01μm)、微結構表面(如激光加工紋路)或易變形材料(如塑料薄膜);支持與工業機器人聯用,實現生產線在線檢測,適配節拍≤5秒/件的自動化測量需求;可選配激光干涉儀校準模塊,將測量不確定度優化至0.001μm(符合ISO 10360-7標準),滿足實驗室級計量要求。
技術參數
測量范圍:縱向80μm(可擴展至800μm),橫向200mm(可擴展至1000mm);分辨率:0.0001μm;重復性:±0.0005μm;觸針針尖半徑:2μm(可選1μm/5μm);測量力:0.1-10mN(可調);驅動速度:0.05-2mm/s(可調);工作溫度:15℃~35℃;工作濕度:20%~70%RH(無冷凝);電源:AC100-240V 50/60Hz;重量:15kg(主機);防護等級:IP40;兼容軟件:Form Master、PolyWorks、GageMaster。
產品特點
全系列通過日本AIST計量認證,閉環驅動系統使測量力波動<0.01mN,數據穩定性較開環系統提升5倍;智能分析算法支持300+表面參數自動計算,涵蓋傳統粗糙度、功能參數及三維形貌參數,滿足全場景評價需求;一鍵式操作界面(7英寸觸摸屏)集成測量、分析、報告生成全流程,操作門檻降低70%;模塊化設計支持觸針、驅動單元快速更換,適配不同粗糙度范圍檢測需求;配備自清潔空氣吹掃系統與恒溫控制模塊,可有效過濾0.5μm以上顆粒物并維持20℃±0.5℃測量環境,確保數據一致性。Formtracer CS-3200S4以“納米級精度、全功能評價”的特性,成為表面形貌檢測的標桿設備。