管式低壓氧化退火設備

設備名稱(chēng) Equipment name

管式低壓氧化退火設備 Horizontal Low Pressure Oxidation/Annealing Equipment

設備型號 Equipment Model

DOA-420/DOA-420L/DOA-420MAX

設備用途 Equipment Application

低壓氧化、退火。

Low Pressure oxidation, annealing.

技術(shù)特點(diǎn) Features

1、大產(chǎn)能。

High throughput.

2、配套相關(guān)專(zhuān)利技術(shù)，可兼容或升級硼擴散工藝。

Patented technology, compatible or upgradeable with boron diffusion process.

3、獨特雙嵌套爐門(mén)結構。

Unique double-layer-nested furnace door structure.

4、高速平穩整體模組推舟機構。

High-speed and stable integral module boat pushing mechanism.

設備參數 Parameters

·最大兼容硅片尺寸:□230mm

·Max. Compatible Wafer Size:230mm

·單機管數:5管/6管

·Tube Configuration: 5 tubes/6 tubes

·單管裝片量Loading Capacity/Tube

機型Model：182□210

DOA-420：1600片/管(pcs/tube)、1600片/管(pcs/tube)

DOA-420L：2640片/管(pcs/tube)、2400片/管(pcs/tube)

DOA-420MAX：3288片/管(pcs/tube)、2860片/管(pcs/tube)

·單機產(chǎn)能Throughput

機型Model：TOPCon、PERC

□182、□210、□182、□210

DOA-420(6管/tubes)：4800片/小時(shí)(pcs/h)、4800片/小時(shí)(pcs/h)、9600片/小時(shí)(pcs/h)、9600片/小時(shí)(pcs/h)

DOA-420L(6管/tubes)：7900片/小時(shí)(pcs/h)、7200片/小時(shí)(pcs/h)、15850片/小時(shí)(pcs/h)、14400片/小時(shí)(pcs/h)

DOA-420MAX(6管/tubes)：9850片/小時(shí)(pcs/h)、8550片/小時(shí)(pcs/h)、19700片/小時(shí)(pcs/h)、17100片/小時(shí)(pcs/h)

·外形尺寸(mm，含地腳)Footprint(mm, incl.leveling foot)

DOA-420：9080x2165x4300(6管/tubes)、9080x2165x3790(5管/tubes)

DOA-420L：9888x2076x4400(6管/tubes)、9888x2076x3750(5管/tubes)

DOA-420MAX：10408x2240x4490(6管/tubes)、10408x2240x3885(5管/tubes)