區域提純爐
CY-MT1200-50IT型區域提純爐是一款專(zhuān)為冶金及材料科學(xué)領(lǐng)域設計的高性能設備,特別適用于半導體鍺、硅以及金屬和金屬間化合物的提純。該設備由高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計、質(zhì)量流量計、分子泵組、直線(xiàn)導軌、速度控制器等重要部件構成,能夠實(shí)現精確的溫度控制和氣氛調節。
產(chǎn)品型號:CY-MT1200-50IT(*高溫度1200℃)
簡(jiǎn)單介紹:
該區域提純爐主由:高溫梯度爐、真空爐管、真空法蘭、電子真空計、質(zhì)量流量計、分子泵組、直線(xiàn)導軌、速度控制器等重要部件構成。區域提純爐廣泛用于半導體鍺、硅提純還可以用于金屬、金屬間化合物提純。
主要技術(shù)參數:
工作溫度:1200℃
爐管長(cháng)度:1200mm
爐管直徑:50mmm
爐管厚度:5mm
密封方式:不銹鋼真空法蘭
真空度:1.0X10E-3Pa
流量計類(lèi)型:質(zhì)量流量計
氣體流量:100SCCM、200SCCM、500SCCM
載料舟長(cháng)度:200mm
移動(dòng)速度:160mm/60min(可根據實(shí)際要求調節)
溫度控制:50段可編程控制
控制系統:全電腦程序控制