連續進(jìn)出料回轉CVD生長(cháng)設備

主要特點(diǎn)

該設備爐管可360°旋轉，有助于粉料的燒結更均勻，可大角度傾斜，方便進(jìn)出料，傾斜角度在0-35°之間。

2、設備組成：加熱系統，進(jìn)料系統，出料系統，氣體控制系統，低真空系統，爐管轉動(dòng)系統，電控操作系統。

(1)加熱系統：

該加熱系統的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，適合中低溫度加熱系統。

高溫真空電阻爐溫度控制系統采用經(jīng)典的閉環(huán)負反饋控制系統，控溫儀表選用智能型程序溫度調節儀表控溫，電力調制器控制;負載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數，無(wú)須操作人員的干預，可自行根據不同溫度曲線(xiàn)的升、降溫要求調整輸出信號，同時(shí)系統設置了超溫、欠溫、斷偶報警保護功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。

額定功率

4KW

額定電壓

AC220V 50/60Hz

最高溫度

1200度

使用溫度

1100度

爐管尺寸

Φ60*420*2+Φ100*360mm

爐管旋轉速率

0~60r/min

爐體傾斜角度

0~35°

爐膛材料

氧化鋁、高溫纖維制品

熱電偶類(lèi)型

K型熱電偶

控溫精度

±1℃

控溫方式

30段可編程控溫，PID參數自整定，

操作界面為10”液晶觸摸屏控制

加熱長(cháng)度

200mm+200mm

恒溫長(cháng)度

250mm

加熱元件

電阻絲

    (2)進(jìn)料系統：

送料系統速度連續可調，停止送料且爐體傾斜最大時(shí)，物料不會(huì )從送料系統外漏，送料系統方便拆卸，拆卸后可手動(dòng)加料，設備可正常運行。

(3)出料系統：

出料系統在爐體傾斜出料時(shí)可自動(dòng)出料。

(4)氣體控制系統：

該控氣系統是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的，也可以獨立控制，質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動(dòng)的機柜內，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

連接頭類(lèi)型

雙卡套不銹鋼接頭

標準量程（N2)

第一路: 200 SCCM

第二路: 500 SCCM

第三路量程可選

準確度

±1.5%F.S

線(xiàn)性

±1%F.S

重復精度

±0.2%F.S

響應時(shí)間

氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec

工作壓差范圍

0.1～0.5 MPa

最大壓力

3MPa

接口

Φ6,1/4''

顯示

4位數字顯示

工作環(huán)境溫度

5~45高純氣體

壓力真空表

－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格

截止閥

Φ6

內外雙拋不銹鋼管

Φ6

    (5)低真空系統：

該系統配備真空機械泵，可以抽真空，可以讓設備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應。

空氣相對濕度

≤85%

工作環(huán)境

5℃～40℃

工作電電壓

220V±10% 50~60HZ

功率

1KW

抽氣速率

10m3/h

極限真空

5X10-1Pa

工作壓力范圍

1.01325X105～1.33X10-2Pa

耐壓值

0.03MPa

容油量

1.1L

進(jìn)氣口口徑

KF25

排氣口口徑

KF25

噪音

50dB

連接方式

采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連  

    (6)爐管轉動(dòng)系統：

爐管轉動(dòng)系統可以讓爐管360°勻速轉動(dòng)，轉速在0-60r/min連續可調，且能在60r/min轉速下長(cháng)時(shí)間運行。

3.技術(shù)指標：

(1)該設備爐管可360度旋轉，管內壁有石英擋片幫助粉料翻轉有助于燒結得更均勻;

(2)整個(gè)爐子和送料、收料系統能夠一起傾斜，方便出放料，傾斜角度在0~35°之間可調;

(3)送料系統送料速度連續可調，停止送料且爐體最大傾斜時(shí)，物料不從送料系統外漏。送料系統方便拆卸，拆卸之后可以手動(dòng)加料，設備可正常運行。

(4)爐管回轉穩定，不會(huì )上下左右跳動(dòng);轉速在0~60r/min連續可調，能在60r/min轉速下連續長(cháng)期運轉(>24h)。