噴金儀

SSG-50M為了使電子顯微鏡中的樣品能夠成像，它們需要有導電性，通過(guò)在樣品上形成導電層的鍍膜，用來(lái)抑制電荷，減少熱損傷，并提高在SEM中定位檢查所需的二次電子信號。

測試原理：在封閉腔室中，放置陽(yáng)極靶材，充入氣體，保持一定的真空度，在陽(yáng)極和陰極之間加載高壓，會(huì )發(fā)生輝光放電現象。電離的氣體離子會(huì )轟擊、侵蝕陽(yáng)極靶材。靶材原子會(huì )因此向四周擴散，在磁力的束縛下在一定范圍內沉積，最終在樣品表面形成一個(gè)均勻的鍍層。這個(gè)鍍層可以抑制荷電，減小熱損傷，提高二次電子產(chǎn)率，從而改善掃描電鏡觀(guān)察效果。

平時(shí)使用時(shí)，最常見(jiàn)靶材的是金靶。正是這個(gè)原因，離子濺射儀也俗稱(chēng)“噴金儀”。然而，為了獲得更細小的晶粒尺寸、更薄的連續鍍層，有時(shí)候也會(huì )使用其他靶材(比如鉻、鉑金、銅)。

產(chǎn)品概覽

噴金儀的產(chǎn)品特點(diǎn)

樣品腔尺寸：圓柱形，直徑150mmx高度120mm;

樣品腔真空度：極限真空度：<0.1Pa，工作真空度：0-10Pa，恒壓控制;

樣品臺：可以裝載樣品8-15個(gè)，高度可調范圍為40mm;

靶材：Au靶為標配，Pt，Cu(選件)規格：直徑57mmx0.1mm厚;

濺射電流：微處理器控制，安全互鎖，可調，最大電流200mA，程序化數字控制;

濺射頭：低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區護罩;

真空計：皮拉尼真空計，測量范圍：0.01Pa-常壓;

真空泵：雙級直連式高速真空泵，抽速：66L/min，真空度：10-2Pa;

厚度監控：使用高分辨厚度監控儀，精確測定所鍍膜的厚度;(選配)

操作方式：觸摸屏控制，手動(dòng)和自動(dòng)模式可選，操作簡(jiǎn)便;

機箱設計：長(cháng)寬高40*35*50cm，堅固防腐蝕的箱體，帶有電源、電壓、電流、真空度等顯示。