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芯片焊盤結構、芯片、晶圓及芯片焊盤結構制作方法

1149   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 09:37:11
本發明提供一種芯片焊盤結構、芯片、晶圓及芯片焊盤結構制作方法，屬于芯片領域。芯片焊盤結構包括：第一絕緣層，包括溝槽；第一金屬層，填充在溝槽中，第一金屬層與芯片的內部電路相連接，形成導電通道；第二金屬層，形成在第一金屬層上，包括芯片與外部器件連接的焊盤區域；第二絕緣層，至少覆蓋第二金屬層在所述焊盤區域之外的部分以及第一金屬層；焊盤區域包括測試焊盤區域和金凸塊焊盤區域；金凸塊焊盤區域包括多個子焊盤區域。在金凸塊焊盤區域上電鍍形成的金凸塊表面不存在凹坑，同時能夠保障金凸塊與金凸塊焊盤之間的有效接觸，降低芯片封裝后因為虛焊而導致功能失效的風險。
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