本實用新型屬于半導體器件測試技術領域,公開一種具有保護功能的半導體器件測試裝置,包括:測試回路單元,電性連接于被測器件單元形成保護支路;采集保護單元,采集所述被測器件單元的至少一電性能參數信號,所述采集保護單元根據所述電性能參數信號判斷所述被測器件單元是否失效,當所述被測器件單元失效時,所述采集保護單元控制所述測試回路單元使得電流從所述被測器件單元換流到所述保護支路。
聲明:
“具有保護功能的半導體器件測試裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)