本發明公開了一種功率器件開關瞬間抗燒毀能力的檢測方法,屬于半導體器件測試可靠性的技術領域。主要應用于功率器件開啟關斷瞬間器件抗燒毀能力的評估,從而指導并提高器件可靠性的方法和裝置。首先,通過施加低于盲點的柵壓或通態壓降,控制功率器件處于導通電阻負溫度系數區域,模擬帶容性負載開啟及感性負載關斷等工況;然后,通過對器件施加一組可控的遞增脈沖信號,來模擬器件開啟關斷瞬間的功耗及熱點形成情況,從而定量評價功率器件的抗瞬態燒毀能力,進而探索器件耐受瞬態失效的最惡劣條件。本發明也可以用于評價功率器件其它工況下抗瞬態燒毀能力。
聲明:
“功率器件開關瞬間抗燒毀能力的檢測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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