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晶圓的失效檢測方法、裝置、設備及存儲介質

953   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:32
本申請公開了一種晶圓的失效檢測方法、裝置、設備及存儲介質，該方法包括：獲取目標晶圓的預定類型的WAT數據，預定類型的WAT數據是通過第一機器學習模型從至少兩種候選類型的WAT數據中確定類型的數據；調用第二機器學習模型對預定類型的WAT數據進行處理，得到目標晶圓的失效率，第二機器學習模型是根據至少一組樣本WAT數據組訓練得到的；輸出目標晶圓的失效率。本申請通過獲取目標晶圓的預定類型的WAT數據，調用第二機器學習模型對預定類型的WAT數據進行處理，得到目標晶圓的失效率，輸出目標晶圓的失效率，由于目標晶圓的失效率是由第二機器學習模型預測得到的，因此能夠提高獲取晶圓的失效率的準確度，且提高了獲取的效率。
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