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MIM電容器件失效分析方法

761   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:59:29
本發明涉及一種MIM電容器件失效分析方法，MIM電容器件位于一硅襯底上并包括一上極板、一下極板和一位于上極板與下極板之間的絕緣層，硅襯底上還至少包括一位于MIM電容器件上方的金屬層，上、下極板分別與金屬層的第一、第二電路區電連接，該方法包括如下步驟：a)確定下極板有無接地，若沒有，則執行步驟b)；否則，執行步驟d)；b)尋找與MIM電容器件層間距離最近的電源總線；其中，電源總線包括一接地引線；c)形成一連接下極板與電源總線的電路通路；d)通過電壓襯度檢測確定MIM電容器件的漏電區域。其在通過電壓襯度檢測MIM電容漏電區域時，不會漏過漏電程度較小的情況，便于觀測、也更加可靠。
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聲明：
“MIM電容器件失效分析方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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