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利用掃描探針探測材料介電常數的方法

1033   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:39
本發明公開了一種利用掃描探針顯微技術探測材料介電常數的方法。本發明包括如下步驟:首先,利用靜電力顯微鏡的電場梯度探測獲得探針與試樣間電容梯度的實驗值;然后利用鏡像電荷法建立探針試樣間電容隨試樣介電常數變化的理論模型;最后將實驗值與理論模型進行比較,推斷出試樣的介電常數。本發明能夠獲知試樣在納米尺度下的介電常數信息,且具有無損傷探測的優點,適用于各種電介質如絕緣體或半導體等材料的表征。
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