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內嵌微流道的LTCC基板測試方法和裝置

802   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 08:58:28
本發明公開了一種內嵌微流道的LTCC基板測試方法和裝置,該方法包括對LTCC基板樣品進行初步檢測;對通過初步檢測的LTCC基板樣品分別進行低溫貯存測試、高溫貯存測試和高低溫循環測試,并對每次測試后的LTCC基板樣品進行檢測。該方法和裝置對內嵌微流道的LTCC基板進行了低溫貯存、高溫貯存、溫度循環等系列環境科目測試,檢測內嵌微流道LTCC基板的質量無損和結構完整性,得出其在地面模擬使用環境中是否可靠的定性結論。
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