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曲面膠厚全場檢測裝置及其檢測方法

726   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:58:06
本發明公開了一種曲面膠厚全場檢測裝置及其檢測方法。該檢測裝置包括可調諧激光器、透鏡、分光棱鏡、透鏡和光電探測面陣CCD,可調諧激光器的出射光線經過透鏡后經過分光棱鏡反射向透鏡,光線經過透鏡后在被檢表面反射,在被檢表面反射后的光線沿原光路返回,依次經過透鏡和分光棱鏡,照射在光電探測面陣CCD上。根據光電探測面陣CCD5上得到的反射光能量比變化值計算得出膠層厚度分布;依據測量原理求出膠層反射比,從而計算得到膠層厚度分布。本發明可無損地測得曲面基底的光刻膠全場厚度分布,適用于用光刻方法加工曲面基底微結構時的膠厚檢測,也適用于其它曲面基底的膜厚測量。
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