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薄膜介質介電常數無損反射測量方法

1075   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:57:59
本發明提供一種薄膜介質介電常數無損反射測量方法，包括：S1，搭建測試平臺；所述測試平臺包括相連接的矢量網絡分析儀和開口波導，以及測試夾具；S2，矢量網絡分析儀對校準介質的開口波導反射系數進行測量得到反射系數Γc，并計算校準介質表面的反射系數Gc；S3，矢量網絡分析儀對介質基板的開口波導反射系數進行測量得到反射系數Γs，并計算介質基板表面的反射系數Gs；S4，矢量網絡分析儀對覆有薄膜介質的介質基板的開口波導反射系數進行測量，得到反射系數Γt；S5，根據反射系數Γc、反射系數Γs、反射系數Γt、反射系數Gs、反射系數Gc，計算薄膜介質表面的反射系數Gt，進而計算薄膜介質介電常數。本發明實現了對薄膜介質無損非接觸測量的技術效果且整個測量過程易于實現。
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“薄膜介質介電常數無損反射測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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