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基于嵌入式薄膜的諧振式氣體傳感器及其制造工藝

1161   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 08:11:53
本發明公開了一種基于嵌入式薄膜的諧振式氣體傳感器及其制造工藝，涉及傳感器技術領域，包括硅基板、硅柵極、硅懸臂梁、金屬鋁電極、壓電傳感器、氣體分子與聚合物結構，所述硅基板的表面設置有硅柵極與硅懸臂梁，所述硅柵極與硅懸臂梁耦合，所述硅懸臂梁的末端設置有壓電傳感器，所述壓電傳感器的兩側分別設置有金屬鋁電極，該基于嵌入式薄膜的諧振式氣體傳感器及其制造工藝，通過利用在諧振式傳感器的硅柵極內嵌入式薄膜，通過薄膜吸收氣體后產生內應力來影響懸臂梁的共振頻率，提高了氣體檢測靈敏度和線性度，通過更換嵌入的薄膜材料，從而可以制備傳感器陣列實現多種化學氣體的高效響應。
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“基于嵌入式薄膜的諧振式氣體傳感器及其制造工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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