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CVD方法制備ZnSe過程中的尾氣自動控制系統

996   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:29:31
一種CVD方法制備ZnSe過程中的尾氣自動控制系統，它包括化學氣相沉積爐，該化學氣相沉積爐內設有鋅坩堝和尾氣管道，該化學氣相沉積爐設有溫度控制器，該尾氣管道內設有硒化氫檢測儀；該硒化氫檢測儀與數據處理裝置電性連接；該數據處理裝置和該溫度控制器電性連接至計算機。本實用新型CVD方法制備ZnSe過程中的尾氣自動控制系統，可以在程序運行后對工藝過程中的各個參數做精確控制和記錄。采集數據間隔可以根據需要進行設定，對記錄的測量數據可以設置一定的保存期限，便于對工藝進行分析。
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