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晶圓金屬污染的評估方法

1019   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:29:13
本發明提供了一種晶圓金屬污染的評估方法，包括步驟：對晶圓進行多次化學處理；對所述晶圓依次進行表面檢查、掃描電鏡?X射線能譜分析以及缺陷分類；通過對晶圓進行多次化學處理，與現有評估方法相比，能夠在后續對晶圓的處理中檢測到晶圓內部更深位置處的缺陷，以增加金屬污染檢測的精度，提高晶圓金屬污染的評估的準確性；并且本發明進行兩次表面檢查、兩次掃描電鏡?X射線能譜分析以及兩次缺陷分類，并將兩次的結果進行綜合分析，從而能夠更加精確得獲得金屬污染的信息，準確的對晶圓金屬污染進行評估。
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