本發明公開了一種嵌入柔性襯底的ZnO微米線陣列紫外探測器的制備方法,所述方法以均勻放置在石英舟和石英管的鋅粉為原料,通過化學氣相沉積法制備得到氧化鋅微米線,然后將制備好的氧化鋅微米線轉移到洗凈的玻璃襯底上,排列整齊,滴入PVAL膠水覆蓋氧化鋅微米線表面,待膠水凝固后,將氧化鋅微米線陣列與PVAL襯底從玻璃襯底揭下,完成氧化鋅微米線陣列嵌入柔性襯底的工作,再在氧化鋅微米線陣列表面沉積金叉指電極,完成ZnO微米線陣列紫外探測器的制備。所述方法使用PVAL柔性襯底,可以最大程度地保護氧化鋅微米線陣列,和電極形成最好的接觸,使得器件高度一體化。
聲明:
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