公開一種感測和控制系統和方法,其利用空腔諧振和波導測量來直接監測過程狀態變量或檢測系統的所述狀態的變化,并提供直接的原位反饋控制以優化所述過程。所述同一系統可用來監測許多不同的過程參數(包括材料的組成、量、分布和物理或化學性質)或監測系統或子系統的所述狀態或健康。所述系統廣泛適用于包括從發動機和排氣系統到生產設備的大范圍的系統和過程。
聲明:
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