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金屬有機化學氣相沉積設備的尾氣處理裝置

943   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:28
一種金屬有機化學氣相沉積設備的尾氣處理裝置，該尾氣處理裝置包括：進氣單元，其輸入待處理的廢氣；吸收單元，其上設有排氣口且與所述進氣單元連接，所述吸收單元內設有用于吸收所述待處理的尾氣的吸收液；監測單元，用于監測所述吸收單元中吸收液的參數并輸出到監測單元中，所示參數包括pH值、ORP值和/或溫度；以及控制單元，基于所述監測單元輸出的包含參數值的信號來控制所述尾氣處理裝置中的伺服部件，從而調節所述吸收液的對應參數。本實用新型裝置處理能力大大提升，最多可同時滿足十數臺MOCVD設備的尾氣處理。負壓采用文丘里及風機同時控制，負壓范圍廣、精確度高。
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