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光波導型生物化學傳感器芯片及其制造方法

1186   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:00:51
本發明接受一種可擴大允許的入射角范圍,且維持高的靈敏度同時抑制光波導層中的光強度衰減的光波導型生物化學傳感器芯片。這種光波導型生物化學傳感器芯片包括:由玻璃或石英構成的基板,形成在所述基板的主面上的、向所述基板內部入射光、并從內部出射光用的一對光柵,形成在包含所述光柵的基板的主面的、厚度3～300μm、并由其折射率比基板高的高分子樹脂構成的光波導層,以及具有形成在所述光波導層上的生物分子識別功能和信息變換功能的感測膜。
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